Text
Physics of Semiconductor Devices
Buku ini berasal dari kuliah Elektronika Solid-State dan Mikroelektronika yang telah saya berikan sejak tahun 1978 di Fakultas Teknik Universitas Bologna. Ruang lingkupnya adalah untuk memberikan pembaca sebuah buku yang, dimulai dari prinsip-prinsip dasar mekanika klasik dan elektromagnetisme, memperkenalkan konsep-konsep mekanika kuantum dan teori keadaan padat, dan menjelaskan fisika dasar semikonduktor termasuk hierarki model transpor, diakhiri dengan model matematis standar perangkat semikonduktor dan analisis perilaku perangkat dasar. Ambisi dari pekerjaan ini adalah untuk menulis sebuah buku, sejauh mungkin, yang akan berguna bagi para siswa dan peneliti; untuk tujuan ini, upaya yang kuat telah dilakukan untuk menjelaskan konsep-konsep fisika, turunan matematis, dan tingkat pendekatan, tanpa bertele-tele. Buku ini dibagi menjadi delapan bagian. Bagian I membahas mekanika analitik dan elektromagnetisme; dengan sengaja, materi tidak diberikan dalam bentuk resume: konsep-konsep mekanika-kuantum dan teori keadaan padat sangat terkait dengan konsep-konsep klasik, sehingga menyajikan konsep-konsep tersebut dalam bentuk ringkasan dapat membuat pembacaan menjadi berat dan hubungan-hubungan yang ada menjadi semakin sulit untuk dipahami. Bagian II menyajikan konsep-konsep pengantar mekanika statistik dan mekanika kuantum, diikuti dengan deskripsi metode umum mekanika kuantum. Masalah menjembatani konsep klasik dengan konsep kuantum pertama-tama ditangani dengan menggunakan perspektif historis, yang mencakup tahun-tahun dari 1900 hingga 1926. Jenis deskripsi statistik yang diperlukan untuk menggambarkan eksperimen, dan hubungannya dengan kasus pembatas dari eksperimen yang sama yang melibatkan benda masif, terkait dengan sifat-sifat matriks stokastik ganda. Bagian III mengilustrasikan sejumlah aplikasi persamaan Schrödinger: kasus-kasus elementer, solusi dengan faktorisasi, dan teori perturbasi yang bergantung pada waktu. Bagian IV menganalisis sifat-sifat sistem partikel, dengan perhatian khusus pada sistem partikel yang terbuat dari partikel identik, dan metode untuk memisahkan persamaan. Konsep-konsep di atas diterapkan pada Bagian V untuk analisis struktur periodik, dengan penekanan pada kristal tipe kubik dan khususnya silikon, yang, sejak akhir 1960-an, telah dan masih menjadi bahan terpenting untuk pembuatan sirkuit terpadu. Bagian VI mengilustrasikan dinamika elektron tunggal dalam struktur periodik dan menurunkan Persamaan Transportasi Boltzmann semiklasik; dari persamaan tersebut, model hidrodinamika dan drift-difusi perangkat semikonduktor diperoleh dengan menggunakan ekspansi momen. Model drift-difusi digunakan di Bagian VII untuk menghitung secara analitis karakteristik listrik untuk perangkat dasar tipe bipolar dan MOS. Akhirnya, Bagian VIII menyajikan kumpulan item yang, meskipun penting, tidak termasuk dalam arus utama buku ini: beberapa langkah proses fabrikasi sirkuit terpadu (difusi termal, oksidasi termal, deposisi lapisan, epitaksi), dan metode untuk mengukur parameter semikonduktor. Dalam penyusunan buku ini, saya telah dibantu oleh banyak kolega. Saya ingin mengucapkan terima kasih, khususnya kepada Giorgio Baccarani, Carlo Jacoboni, dan Rossella Brunetti, yang telah memberikan saran-saran penting mengenai distribusi materi dalam buku ini, membaca naskah dan, dengan pengamatan mereka, membantu saya untuk memperjelas dan menyempurnakan teks; Saya juga ingin mengucapkan terima kasih kepada Giovanni Betti Beneventi, Fabrizio Buscemi, Gaetano D'Emma, Antonio Gnudi, Elena Gnani, Enrico Piccinini, Susanna Reggiani, Paolo Spadini yang telah membaca naskah ini dan memberikan komentarnya. Terakhir, saya ingin mengucapkan terima kasih kepada para mahasiswa, sarjana, pascasarjana, dan postdocs, yang selama beberapa dekade telah menemani kegiatan mengajar dan penelitian saya dengan rasa ingin tahu yang merangsang. Banyak komentar, latihan, dan pelengkap buku ini merupakan hasil langsung dari pertanyaan dan komentar yang datang dari mereka.
No copy data
No other version available